昨天，全球最大的光刻机供应商ASML发布了2021的Q4和全年财务报告。去年，其收入为186.11亿欧元，比上一财年增长33%，净利润也从35.54亿欧元增至58.83亿欧元。全年出货42台EUV光刻机，比上年增加11台。
在第四季度，ASML还增加了71亿欧元的新订单，包括销售一套Na0.55高数值孔径EUV光刻机，这是下一代ASML光刻机。Intel订购了这台光刻机，据说价格高达3亿美元，约19亿元人民币。
你知道，在目前的EUV光刻机销售中，台积电和三星都是大客户，订单量远远高于Intel，然而，在下一代EUV光刻机中，Intel获得了专有权，并有一定的优先购买期。他最早将于2018年参加第一场比赛。
在目前NA0.33的EUV光刻机中，Intel速度较慢，领先于台积电和三星。Intel的EUV工艺芯片将于2023年在第14代coremeterLake上进行大规模生产。
在下一代Na0.55的EUV光刻工艺中，Intel不允许同样的错误再次发生。这一次，他将先于三星台积电下订单。他还将抢占20a和18a工艺的批量生产，并首次进入Amy级工艺节点。
基于此,，在过去的四年中，Intel实际上订购了六台Na为0.55的EUV光刻机，有两种类型。TWINSCANexe:5000系列主要用于工艺研究和开发。输出容量为185wph。每小时生产185块晶圆，并在2023年上半年交付。
批量生产的Na0.55光刻机为TWINSCANexe:5200，生产能力为每小时200个晶圆，每小时200个晶圆。预计它将在2024年离线。Intel的20A工艺于2024年批量生产。
